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大型光学元件
LAYERTEC 提供大型光学器件,用于工业(材料加工、测量、半导体工业、显示器生产)、科学、医疗和其他领域的各种应用。LAYERTEC 与客户合作开发从原型到批量生产的大型光学元件。为了确保保证的规格,LAYERTEC 使用了各种制造和检测技术。


图 1:
一)大型光学元件的质量控制
二)大型光学元件示例
光学元件
表面的精度和质量
基板制造技术
光学镀膜技术
光学元件
- 平面光学
- 领域
- 缸
- 非球面、离轴抛物线
- 自由曲面光学元件
表面的精度和质量
- 平面度高达 λ/20
- 抛光 4 级
- 粗糙度 Rq ≤ 0.5 nm
- 表面缺陷低至 1 ppm 的检查区域
基板制造技术
- CNC 磨削可达 2000 毫米
- 抛光(CNC 和传统抛光)可达 2000 毫米
- 干涉测量(平面和圆柱形表面)可达 2000 毫米
- 粗糙度测量(触觉和光学)可达 2000 毫米
- 多传感器坐标测量可达 2000 mm
- 超声波清洗技术可达 1200 mm
光学镀膜技术
- IAD 可达 1200 mm
- 磁控溅射可达 600 mm
- 光学镀膜的表征(OPO-CRD、PCI、LIDT)
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